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過濾技術(shù)如何助力國(guó)產(chǎn)顯示產(chǎn)業(yè)

更新時(shí)間：2023-10-07瀏覽：1351次

　　近年來，隨著日韓企業(yè)相繼推出LCD面板市場(chǎng)，產(chǎn)能迅速向國(guó)內(nèi)企業(yè)集中。根據(jù)TrendForce集邦咨詢數(shù)據(jù)，中國(guó)大陸LCD電視面板廠的市場(chǎng)占有率預(yù)估將于2023年進(jìn)一步提升至70.4%。

雖然OLED、Mini LED、Micro LED等新興顯示技術(shù)涌現(xiàn)、LCD市場(chǎng)份額下降是不爭(zhēng)的事實(shí)，但從技術(shù)取代的層面來說，LCD的市場(chǎng)基本盤依然穩(wěn)固。在顯示器、電視等大尺寸顯示應(yīng)用上，OLED不具備優(yōu)勢(shì)，Wit Display認(rèn)為L(zhǎng)CD將在未來5~10年內(nèi)仍是市場(chǎng)主流。中國(guó)大陸在未來相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間內(nèi)依然占有顯示面板主導(dǎo)地位。

　PART 01　
　TFT-LCD的結(jié)構(gòu)以及成像原理　

液晶顯示屏的構(gòu)造就如同三明治一樣，將液晶夾雜在兩片玻璃基板之間，這兩片玻璃基板，就是TFT Array玻璃和彩色的濾光片。在TFT Array玻璃上有無數(shù)的畫素(pixel)排列，而彩色的濾光片則是畫面顏色的重要來源，液晶便夾雜在TFT Array以及彩色的濾光片之間。

當(dāng)電壓在TFT(晶體管)的時(shí)候，液晶轉(zhuǎn)向，光線便穿過了液晶在面板上面產(chǎn)生了一個(gè)畫素，而此光源則是由背光模塊所負(fù)責(zé)提供的。此時(shí)，彩色的濾光片給予了每一個(gè)畫素特定的一個(gè)顏色。結(jié)合了每一個(gè)不同顏色的畫素最后所呈現(xiàn)出的就是面板前端的影像了。

　PART 02　
　TFT-LCD的制程工藝　

液晶顯示屏的生產(chǎn)工藝主要分為前段和后段，前段工序包括投料，清洗，薄膜沉積，涂覆光刻膠，曝光，刻蝕，完成TFT矩陣；后端包括切割，灌晶，整平、清洗，測(cè)試，貼片，包裝等。

隨著技術(shù)不斷更新迭代，顯示面板的制造工藝要求也在不斷攀升，幾乎每一步都沒有出錯(cuò)的余地，其中對(duì)各個(gè)工藝點(diǎn)的環(huán)境及原材料的污染物會(huì)對(duì)面板造成致命缺陷，從而影響良率及生產(chǎn)效率。先進(jìn)TFT-LCD制程必須是在精密的無塵室之內(nèi)，經(jīng)過300道以上的制程而生產(chǎn)出來的。無塵室的最高潔凈度等級(jí)可以達(dá)到「10 」(即：在無塵室的環(huán)境之內(nèi)，每立方尺最多只有10顆粉塵)。

　PART 03　
　過濾賦能顯示面便關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)　

如上文所述，隨著顯示面板隨著面板持續(xù)向大尺寸及新技術(shù)發(fā)展，任何可能存在的污染物都會(huì)對(duì)廠家的效益造成損失。因此，在面板生產(chǎn)過程中選擇優(yōu)異的過濾器至關(guān)重要。

　氣體過濾　

在面板制造過程中，成膜工藝需要用到惰性氣體(如氬氣)硅烷、磷烷、三氟化氮等電子特氣；刻蝕工藝需要用到六氟化硫、氧氣、氯氣等刻蝕氣體。這些工藝氣體必須確保足夠的清潔度，才能實(shí)現(xiàn)顯示器的高效生產(chǎn)和提高像素密度。

大立工藝氣體過濾器可選各種材質(zhì)，例如PTFE、金屬燒結(jié)等，從而滿足室溫或高溫惰性或腐蝕性氣體的相容性要求。

Has-cleen 一體式氣體濾芯，外殼采用電子級(jí)不銹鋼316L，內(nèi)部濾芯采用PFA材料，濾膜材料可選PTFE、金屬燒結(jié)等，能夠高效去除氣體中的顆粒。耐腐蝕、耐高壓材料適用于各種特殊氣體的過濾工藝

ST Gas系列折疊濾芯過濾層采用雙層疏水性聚四氟乙烯(PTFE)濾膜，對(duì)于3nm可達(dá)絕對(duì)截留效率，可滿足微電子行業(yè)中對(duì)氣體的過濾要求，天然疏水性，流通量大、壓差低，特別適用于液晶顯示器和半導(dǎo)體制造工藝中的工藝氣體以及使用點(diǎn)氣體精密過濾。

　光刻　

光刻涂層需要避免顆粒、金屬、有機(jī)材料和氣泡。為了避免涂層出現(xiàn)缺陷，對(duì)面板造成缺陷，同時(shí)可將污染源降至很低，過濾器的截留率必須非常高。在選擇合適的光刻過濾器時(shí)，必須考慮幾個(gè)因素：1、主體過濾器和使用點(diǎn)(POU)分配過濾器須避免有害顆粒沉積。分配過濾器是應(yīng)用點(diǎn)前最后一道過濾屏障，因此需要謹(jǐn)慎選擇該過濾器，以減少屏幕基板表面上的缺陷。2、使用點(diǎn)分配采用優(yōu)化設(shè)計(jì)、掃過流路設(shè)計(jì)和優(yōu)異的沖洗特征都很關(guān)鍵。

DL831囊式系列濾芯是針對(duì)光刻膠過濾而設(shè)計(jì)的一款三接頭濾芯。三孔接頭設(shè)計(jì)，使管路連接更快捷方便。殼體采用HDPE材質(zhì)，更能有效抑制溶出物，內(nèi)濾芯多種膜材質(zhì)可選。

　濕法刻蝕與濕電子化學(xué)品　

在顯示面板生產(chǎn)工藝中，需要使用大量濕電子化學(xué)品，這些化學(xué)品在清洗、刻蝕、顯影等工藝中都起著舉足輕重的作用。為了確保這些化學(xué)品在應(yīng)用點(diǎn)的潔凈度，需要在廠務(wù)和應(yīng)用點(diǎn)前分別進(jìn)行過濾純化，避免各類質(zhì)對(duì)面板成品造成缺陷。大立提供的濕電子化學(xué)品過濾器，濾膜可選各種材質(zhì)(聚砜、聚醚砜、聚丙烯、PTFE)，滿足顯示器基板尺寸對(duì)應(yīng)的顆粒物清除需求。

SMF系列產(chǎn)品專為高世代面板的生產(chǎn)制造工藝而設(shè)計(jì)，所有材料均采用電子級(jí)原料，非接觸焊接技術(shù)不帶入其他粘膠劑及表面活性劑，有效控制產(chǎn)品整體的析出情況。采用208外徑的設(shè)計(jì)，產(chǎn)品具有超大的過濾面積，從而為產(chǎn)線提供高處理量以及超高的納污量，延長(zhǎng)濾芯的使用時(shí)間，減少停機(jī)更換頻次，提高產(chǎn)量。

此外，大立還提供69/83/131各尺寸濾芯，多種膜材結(jié)構(gòu)可選，能很好的應(yīng)對(duì)TFT-LCD工藝中所有濕電子化學(xué)品過濾要求。

　液晶滴注　

Darlly液晶滴下過濾系統(tǒng)可封堵和清除液晶(LC)材料內(nèi)可造成粘性顆粒和污染物的缺陷，以減少各種表面缺陷。

Darlly DL221系列囊式濾芯是專為液晶過濾而設(shè)計(jì)，采用全氟結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)異的化學(xué)兼容性，并且確保低析出，滿足制程的潔凈要求。采用緊湊的囊式設(shè)計(jì)有效減少液晶浪費(fèi)。

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